1
浏览量:
1000

SDI系列

SDI系列产品是业界领先的光伏直接成像解决方案,适用于光伏太阳能电池高精度图形化工艺领域。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数

1.产品描述

 

SDI系列产品是业界领先的光伏直接成像解决方案,适用于光伏太阳能电池高精度图形化工艺领域。
该系统采用DMD技术,通过高精度的资料解析能力,
解析精度优于15μm及优异的线宽一致性和边缘粗糙度,在保证增效的同时,可降低整体运行成本。

 

2.产品特点

 

  • 直写光刻无需掩膜版,非接触曝光工艺;
  • 405nm 半导体激光器,低曝光剂量无基底激光损伤;
  • 背靠背双轨道M10/G12半片≥10000wph;
  • 图形易编辑,基板尺寸适用于166~210整片以及半片电池;
  • 对位精度:抓边对位±0.05mm、Mark高精对位±10μm;
  • 适用不同感光材料,解析精度优于15μm,线宽公差±10%;
  • 高精度环境控制系统,稳定性好;
  • 基于Windows系统,用户界面方便操作;

 

3.技术规格

 

 

设备型号 光伏SDI
基板尺寸 166 mm~210mm整片或半片电池
基板厚度 100~150μm
解析能力 15μm
线宽公差 ±10%
景深 ±100μm
对位精度 边缘对位±50μm
Mark对位±10μm
双轨道产能 10000wph
光源类型 LD 405±10nm
拼接误差 ±1.5μm
能量均匀性 ≥95%
光源寿命 10000H

  *  显影后,最小线宽/线距与景深取决于感光材料特性及制程

扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
上一个
下一个

客户支持

投资者关系

联系77779193永利

公司地址:

合肥市高新区长宁大道789号1号楼

联系电话:

+86-551-63823652

 

tp

扫一扫关注77779193永利

Copyright ©2020 77779193永利(国际)APP官网-Best game Lobby